<ruby id="67zfj"></ruby>
    <strong id="67zfj"></strong>
    1. <optgroup id="67zfj"></optgroup>

      <sub id="67zfj"></sub>
    2. <acronym id="67zfj"><sup id="67zfj"></sup></acronym>
      <optgroup id="67zfj"></optgroup>
    3. 臭氧產品
      首頁 > 臭氧知識 > 臭氧問答 > ALD、半導體用臭氧發生器有哪些品牌
      2022-01-20????來源:http://www.soosoy.com/???瀏覽量:????
      近些年半導體、ALD蓬勃發展,臭氧被電子工業用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生長、光刻膠去除和多種清潔應用。我們介紹幾款能滿足半導體行業用的臭氧發生器。
       
      1、美國SEMOZON® AX8415 
      美國SEMOZON? AX8415
      SEMOZON® AX8415 是 MKS 開發的具創新性和多功能性的臭氧發生器。該臭氧發生器的新穎結構和 電池設計可產生高清潔、高濃度、高流量的臭氧,將氧氣轉化為 >400 g/Nm3 的高濃度臭氧,適用于半導體、平板顯示器和光伏行業的前沿應用。
      特點
      在 5°C @ 2.5 slm 時臭氧濃度高達 425 g/Nm3 或 27.1 wt%
      從 2.5 slm 到 50 slm 的 O2 流量可實現工藝靈活性
      獲得 的電池設計可產生高濃度臭氧
      在添加或不添加氮氣的情況下運行
      閉環操作可實現更嚴格的過程控制
      水冷
       
      2、日本住友GRG臭氧發生器
      日本住友GRG臭氧發生器
      日本住友GRG臭氧發生技術應用于滿足飲用水和廢水處理設施、游泳池和水族館以及工業用水、廢水和再生水的工業設施的水處理需求水。此外,已將相同的技術應用于化學品制造商、半導體制造商和 LCD 制造商等的生產過程中。
      特點
      · 無氮摻雜超凈臭氧無二氧化氮(NO)
      · 高濃度400g/m2(N)[25.6wt%]
      · 穩定的臭氧濃度
      · 體積小、重量輕 放電單元和動力單元在一個單元內
      · 耐高壓0.5MPa(工作壓力:0.15MPa)
      · CE、 NRTL、 SEMI S2 兼容應用
      · ALD· 光刻膠條
      · LPCVD· 濕法清洗· SOM
      水冷
      3、加拿大Absolute Ozone® ATLAS 30
      加拿大Absolute Ozone? ATLAS 30
      Absolute Ozone® 臭氧發生器由于獨特的優雅設計,利用微流體平臺技術和出色的耐用性,所有風冷式 Absolute Ozone® 發生器都能可靠地為各種特殊應用提供超純、高濃度的臭氧。其性能在業界是無與倫比的,能夠可靠地產生高達 16% 重量的高濃度臭氧。
      特點
      在添加或不添加氮氣的情況下運行
      濃度(重量百分比 O3):200mg/L(5 -20wt%)
      工作壓力:15-35Psig
      氣體流量:0.1 - 4 slpm
      風冷,將臭氧發生器放置在通風良好且不受天氣因素影響的區域
      藥物合成
      ALD
       
      4、美國 IN USA OG-5000 臭氧發生器
      美國 IN USA OG-5000 臭氧發生器
      OG-5000系列臭氧發生器是為滿足半導體工業中對高濃度潔凈臭氧的需求而設計的,可應用于化學氣相沉積、原子層沉積、氧化物生長和濕法處理過程中。
      特點
      濃度(重量百分比 O3):超200mg/L(5 -20wt%)
      用于摻雜的氮氣 級別五或更高 (僅0.5%)
      進氣流量 0.5 到 20 slpm
      臭氧出口壓力 15 到 40 psig
      化學氣相沉積 (CVD)
      原子層沉積 (ALD)
      氧化物生長
      表面處理
      水冷
       
      5、瑞典Primozone GM1-4 2.0 
      瑞典Primozone GM1-4 2.0
      Primozone GM1-4 2.0 高性能臭氧發生器基于 Primozone 的 技術。一種可實現可靠臭氧生產的技術,具有低能耗和出色的生命周期成本。高性能臭氧發生器基于 Primozone 的 技術。一種可實現可靠臭氧生產的技術,具有低能耗和出色的生命周期成本。
      特點
      進氣氧氣> 94%, N2 < 1%
      可產生濃度高達 300 g /m³ 臭氧(相當于 20% 重量)
      絕對氣壓為 3 bar / 43.5 psi
      每臺發電機都有一個集成的控制系統,提供安全、監控和控制。
      模塊化設計使發電機可靠且易于維護。
       
      以上5款為半導體行業常用的高濃度臭氧發生器,如果還想了解更多信息,可以聯系同林。

      文章來源:https://www.tonglin.cn/changshi/589.html

      標簽:臭氧發生器(39)ALD(1)半導體(1)品牌(1)


      相關文章:

    4. 臭氧發生器輸出產量單位有哪些2023-01-12
    5. 嵌入式臭氧檢測儀(可內置臭氧發生器中)介紹2022-12-28
    6. 臭氧發生器中電暈電池結構材料介紹2022-12-19
    7. 臭氧發生器產生的腐蝕性硝酸會損壞臭氧檢測儀嗎2022-07-25
    8. 實驗用臭氧發生器怎么選擇呢?2022-07-06
    9. 什么是高濃度臭氧發生器(ATLAS H30)2022-07-05
    10. UV-M和UVP SOG-2臭氧發生器的區別在哪里2022-06-14
    11. 實驗用臭氧發生器干燥器再生使用說明2020-12-07
    12. 紫外線臭氧發生器實驗,臭氧濃度能控制呢?2020-10-09
    13. 耐0.5Mpa高壓臭氧發生器試驗2020-07-13
    14. 臭氧發生器輸出產量單位有哪些2023-01-12
    15. ATI Q46H/64 溶解臭氧監測儀系統如何連接2023-01-12
    16. 臭氧催化氧化技術效果怎么樣2023-01-03
    17. 嵌入式臭氧檢測儀(可內置臭氧發生器中)介紹2022-12-28
    18. 臭氧檢測儀檢測臭氧濃度的原理2022-12-26
    19. 臭氧發生器中電暈電池結構材料介紹2022-12-19
    20. 不同水源條件下臭氧投加量參考值2022-12-15
    21. 臭氧系統檢測評估報告包含哪些內容2022-12-15
    22. 紫外臭氧檢測儀需要校零嗎2022-12-06
    23. 電極法與膜法臭氧濃度測試器技術參數對比2022-11-30
    24. 美國2B臭氧檢測儀如何校準呢?2022-11-29
    25. 如何快速消除水中臭氧2022-11-28
    26. 不同臭氧濃度下BAC對DBPs生成的影響2022-11-21
    27. 不同臭氧濃度對BAC中微生物的影響2022-11-21
    28. 美國2B Model 405 nm NO2/NO/NOx檢測儀工作原理2022-11-16
    29. ×
      • 免費電話咨詢

      010-82461830
      亚洲欧洲精品一区二区三区波多野
      <ruby id="67zfj"></ruby>
      <strong id="67zfj"></strong>
      1. <optgroup id="67zfj"></optgroup>

        <sub id="67zfj"></sub>
      2. <acronym id="67zfj"><sup id="67zfj"></sup></acronym>
        <optgroup id="67zfj"></optgroup>